| 发明名称 | 电容式压力传感器及其制造方法 | ||
| 摘要 | 一种电容式压力传感器设有第一基板(1)、设置于第一基板(1)上的第一平板电极(1a)、包围设置于第一基板(1)上的第一平板电极(1a)的压敏框架部(4)、结合在压敏框架部(4)上并与第一基板(1)相对的与第一基板(1)和压敏框架部(4)一起形成电容室(7)的第二基板(2、3)、设置于电容室(7)中第二基板(2、3)上的与压敏框架部(4)隔开并与第一平板电极(1a)相对隔开的载物台(5)以及设置于载物台(5)上的并与第一平板电极(1a)相对的第二平板电极(2a)，压敏框架部(4)随着外加于第一及第二基板上(1、2、3)的压力而产生弹性变形。 | ||
| 申请公布号 | CN1440504A | 申请公布日期 | 2003.09.03 |
| 申请号 | CN01812262.0 | 申请日期 | 2001.07.03 |
| 申请人 | 株式会社山武 | 发明人 | 石仓义之 |
| 分类号 | G01L9/12 | 主分类号 | G01L9/12 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汪惠民 |
| 主权项 | 1.一种电容式压力传感器，其特征在于：设有第一基板、设置于第一基板上的第一平板电极、包围设置于第一基板上的第一平板电极的压敏框架部、结合在压敏框架部上并与第一基板相对的与第一基板和压敏框架部一起形成电容室的第二基板、设置于电容室中第二基板上的与压敏框架部隔开并与第一平板电极相对隔开的载物台以及设置于载物台上的并与第一平板电极相对的第二平板电极，所述压敏框架部随着外加于第一基板和第二基板上的压力而产生弹性变形。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||