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发明名称 COMPOSITION AND METHOD FOR POLISHING A COMPOSITE
摘要
申请公布号 EP0930978(B1) 申请公布日期 2003.09.03
申请号 EP19970945351 申请日期 1997.09.26
申请人 RODEL, INC. 发明人 HOSALI, SHARATH, D.;SETHURAMAN, ANANTHA, R.;WANG, JIUN-FANG;COOK, LEE, MELBOURE
分类号 B24B37/00;C03C19/00;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/3105;(IPC1-7):B44C1/22;C09G1/02;C03C15/00;C09K13/00;C09K13/02 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
主权项
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