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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 EP0714140(B1) 申请公布日期 2003.09.03
申请号 EP19950921972 申请日期 1995.06.15
申请人 SEIKO EPSON CORPORATION 发明人 MIYASAKA, MITSUTOSHI
分类号 F16C29/00;G02F1/136;G02F1/1362;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/324;H01L21/336;H01L29/49;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/205;C23C16/24 主分类号 F16C29/00
代理机构 代理人
主权项
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