发明名称 RADIATION-SENSITIVE COMPOSITION OF CHEMICAL AMPLIFICATION TYPE
摘要
申请公布号 EP1033624(A4) 申请公布日期 2003.09.03
申请号 EP19990935116 申请日期 1999.08.09
申请人 CLARIANT FINANCE (BVI) LIMITED 发明人 PAWLOWSKI, GEORG;OKAZAKI, HIROSHI;KINOSHITA, YOSHIAKI;TSUGAMA, NAOKO;HISHIDA, ARITAKA;MA, XIAO-MING;YAMAGUCHI, YUKO
分类号 C07C309/06;C07C381/12;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 C07C309/06
代理机构 代理人
主权项
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