发明名称 A PROCESS AND AN APPARATUS FOR THE FORMATION OF PATTERNS IN FILMS USING TEMPERATURE GRADIENTS
摘要
申请公布号 EP1339550(A1) 申请公布日期 2003.09.03
申请号 EP20010993546 申请日期 2001.11.08
申请人 APPLIED NANOSYSTEMS B.V. 发明人 SCHAEFFER, ERIK;STEINER, ULLRICH
分类号 B81C99/00;B41C1/10;B41M5/26;B41M5/36;B82B3/00;G05D23/19;H01L21/027;(IPC1-7):B41M5/36 主分类号 B81C99/00
代理机构 代理人
主权项
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