发明名称 氢离子敏场效应管封装方法
摘要 一种氢离子敏场效应管封装方法,包括如下步骤:a、采用基本成型模具,该模具是由薄树脂印刷板制成;b、粘片,将切割后粘贴好的芯片置放在模具的相应位置;c、烘烤,将粘贴好芯片的模具置入烘箱内,在小于100度的温度下进行烘烤;d、超声压焊;e、注胶封装,将经过烘烤形成有氢离子敏场效应管的芯片在模具上进行注胶封装,其中暴露出所述氢离子敏场效应管的栅极;f、定型烘干;本发明具有方法相对简单,成本较低,且封装效果良好的优点。
申请公布号 CN1120526C 申请公布日期 2003.09.03
申请号 CN99125246.2 申请日期 1999.11.30
申请人 中国科学院电子学研究所 发明人 韩泾鸿;张虹
分类号 H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 汤保平
主权项 1.一种氢离子敏场效应管封装方法,其特征在于,a、采用基本成型模具,该模具是由薄树脂印刷板制成;b、粘片,将切割后粘贴好的芯片置放在模具的相应位置;c、烘烤,将粘贴好芯片的模具置入烘箱内,在小于100度的温度下进行烘烤;d、超声压焊;e、注胶封装,将经过烘烤形成有氢离子敏场效应管的芯片在模具上进行注胶封装,其中暴露出所述氢离子敏场效应管的栅极;f、定型烘干。
地址 100080北京市海淀区中关村路17号