发明名称 | 氢离子敏场效应管封装方法 | ||
摘要 | 一种氢离子敏场效应管封装方法,包括如下步骤:a、采用基本成型模具,该模具是由薄树脂印刷板制成;b、粘片,将切割后粘贴好的芯片置放在模具的相应位置;c、烘烤,将粘贴好芯片的模具置入烘箱内,在小于100度的温度下进行烘烤;d、超声压焊;e、注胶封装,将经过烘烤形成有氢离子敏场效应管的芯片在模具上进行注胶封装,其中暴露出所述氢离子敏场效应管的栅极;f、定型烘干;本发明具有方法相对简单,成本较低,且封装效果良好的优点。 | ||
申请公布号 | CN1120526C | 申请公布日期 | 2003.09.03 |
申请号 | CN99125246.2 | 申请日期 | 1999.11.30 |
申请人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明人 | 韩泾鸿;张虹 |
分类号 | H01L21/56 | 主分类号 | H01L21/56 |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汤保平 |
主权项 | 1.一种氢离子敏场效应管封装方法,其特征在于,a、采用基本成型模具,该模具是由薄树脂印刷板制成;b、粘片,将切割后粘贴好的芯片置放在模具的相应位置;c、烘烤,将粘贴好芯片的模具置入烘箱内,在小于100度的温度下进行烘烤;d、超声压焊;e、注胶封装,将经过烘烤形成有氢离子敏场效应管的芯片在模具上进行注胶封装,其中暴露出所述氢离子敏场效应管的栅极;f、定型烘干。 | ||
地址 | 100080北京市海淀区中关村路17号 |