| 发明名称 | 一种用于发蓝光器件的晶体薄膜及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了用于发蓝光器件的Zn<SUB>1－x</SUB>Cd<SUB>x</SUB>O晶体薄膜，薄膜中Cd的含量为0＜x＜0.5，其制备采用采用直流反应磁控溅射法，根据实际需要通过调节Cd的含量，可以调节Zn<SUB>1－x</SUB>Cd<SUB>x</SUB>O合金薄膜禁带宽度和发光波长，发光范围从紫外光扩展到蓝光甚至绿光范围。生长的时间由所需的厚度决定。采用本发明方法生长的Zn<SUB>1－x</SUB>Cd<SUB>x</SUB>O合金薄膜结晶质量良好，具有完全(002)择优取向性；并具有较好的重复性和稳定性。 | ||
| 申请公布号 | CN1439748A | 申请公布日期 | 2003.09.03 |
| 申请号 | CN03116011.5 | 申请日期 | 2003.03.25 |
| 申请人 | 浙江大学 | 发明人 | 叶志镇;马德伟;黄靖云;赵炳辉 |
| 分类号 | C30B25/06;C23C14/08;C23C14/35;H01L33/00 | 主分类号 | C30B25/06 |
| 代理机构 | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人 | 韩介梅 |
| 主权项 | 1.一种用于发蓝光器件的晶体薄膜，其特征在于它是Zn1-xCdxO晶体薄膜，薄膜中Cd的摩尔含量为0＜x＜0.5。 | ||
| 地址 | 310027浙江省杭州市西湖区玉古路20号 | ||