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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20030071586(A) 申请公布日期 2003.09.03
申请号 KR20030012880 申请日期 2003.02.28
申请人 发明人
分类号 C23C16/40;H01L27/105;H01L21/02;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/8244;H01L21/8246;H01L27/11;H01L27/115 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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