改进的晶圆研磨定位环结构

摘要

一种改进的晶圆研磨定位环结构，其环体由非金属本体环上部左旋螺纹螺合金属环所构成。其中本体环下缘有复数个环形等距离排列的废物摔出槽；环体内外有贯穿本体环与金属环的复数个出水孔。本实用新型克服了公知技术的缺点，其环体由本体环与金属环结合而成，其上缘环形排列结合驱动件的复数个螺孔可直接制作于金属环上，可避免公知技术中有二次误差的缺陷，并提高其合格率降低生产成本；且本体环下缘设复数个废物摔出槽，其两侧壁为弧形壁或斜直壁构成，可减缓研磨时废物摔出的速度。

主权项

1.一种改进的晶圆研磨定位环结构，其特征在于：其包括：一环体，为正圆形无端环，于非金属本体环上部，其左旋螺纹螺合金属环，前述环体右旋可带动晶圆研磨，前述本体环不与前述金属环产生位移；前述金属环外周壁顶缘设有环形凸缘，前述环形凸缘上设有复数个用以结合驱动件定位、等距离环形排列的螺孔；复数个废物摔出槽，设于前述环体的本体环下缘，其为等距离排列内外两端开口、可减缓研磨时废物摔出的速度的凹槽；以及复数个出水孔，贯通前述环体内外，前述本体环出水孔连接前述金属环出水孔。