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发明名称 IMPROVING THE STABILITY OF ION BEAM GENERATED ALIGNMENT LAYERS BY SURFACE MODIFICATION
摘要
申请公布号 EP1340119(A2) 申请公布日期 2003.09.03
申请号 EP20010993186 申请日期 2001.11.30
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CALLEGARI, ALESSANDRO, C.;CHAUDHARI, PRAVEEN;DOANY, FUAD E.;DOYLE, JAMES, P.;GALLIGAN, EILEEN, A.;HOUGHAM, GARETH, G.;GLOWNIA, JAMES, H.;LACEY, JAMES, A.;LIEN, SHUI-CHIH;LU, MINHAU;ROSENBLUTH, ALAN, E.;YANG, KEI-HSIUNG
分类号 B01J19/12;C01B31/02;C23C14/48;C23C14/58;G02F1/1337;(IPC1-7):G02F1/133 主分类号 B01J19/12
代理机构 代理人
主权项
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