发明名称 |
Planarized microelectronic substrates |
摘要 |
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申请公布号 |
AU2002365226(A1) |
申请公布日期 |
2003.09.02 |
申请号 |
AU20020365226 |
申请日期 |
2002.11.06 |
申请人 |
DOW GLOBAL TECHNOLOGIES INC. |
发明人 |
MICHAEL J. RADLER;KENNETH L. FOSTER |
分类号 |
H01L21/768;C08F2/46;C08G61/10;H01B3/30;H01B3/44;H01L21/312;H05K1/00;H05K3/28;H05K3/46;(IPC1-7):C08G61/10;C08F38/00;H01B3/18 |
主分类号 |
H01L21/768 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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