发明名称 Planarized microelectronic substrates
摘要
申请公布号 AU2002365226(A1) 申请公布日期 2003.09.02
申请号 AU20020365226 申请日期 2002.11.06
申请人 DOW GLOBAL TECHNOLOGIES INC. 发明人 MICHAEL J. RADLER;KENNETH L. FOSTER
分类号 H01L21/768;C08F2/46;C08G61/10;H01B3/30;H01B3/44;H01L21/312;H05K1/00;H05K3/28;H05K3/46;(IPC1-7):C08G61/10;C08F38/00;H01B3/18 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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