| 发明名称 |
Apparatus and method for etching the edges of semiconductor wafers |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002367509(A1) |
申请公布日期 |
2003.09.02 |
| 申请号 |
AU20020367509 |
申请日期 |
2002.10.01 |
| 申请人 |
RWE SCHOTT SOLAR INC. |
发明人 |
BRIAN H. MACKINTOSH;MAURICE P. BRODEUR;MARK D. ROSENBLUM;BERNHARD P. PIWCZYK |
| 分类号 |
H01L21/3065;H01L21/673;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/302;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/3065 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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