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发明名称
摘要
申请公布号 JP3441374(B2) 申请公布日期 2003.09.02
申请号 JP19980227113 申请日期 1998.08.11
申请人 发明人
分类号 C23C18/52;C25D3/38;H01L21/288;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 C23C18/52
代理机构 代理人
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