| 发明名称 |
Monitoring of contact hole production |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003215060(A8) |
申请公布日期 |
2003.09.02 |
| 申请号 |
AU20030215060 |
申请日期 |
2003.02.04 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
AVI SIMON;ALEXANDER KADYSHEVITCH |
| 分类号 |
H01L21/66;H01L23/544;(IPC1-7):H01L21/66;G01R31/307 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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