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发明名称 ORGANIC ANTI-REFLECTIVE COATING COMPOSITIONS FOR ADVANCED MICROLITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 AU2002361686(A1) 申请公布日期 2003.09.02
申请号 AU20020361686 申请日期 2002.12.13
申请人 BREWER SCIENCE, INC. 发明人 SHREERAM, V. DESHPANDE
分类号 C08F8/14;C08G59/14;C08G59/32;C08G59/42;C08G59/62;C08G63/68;C08G63/91;C08G65/329;C09D133/02;C09D163/00;C09D167/00;C09D171/02;G03F7/09;(IPC1-7):G03C1/76;C08F34/02;C08F24/00;G03C5/00;G03C1/725;C08F220/68 主分类号 C08F8/14
代理机构 代理人
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