发明名称 使用大气压电浆之清净装置
摘要 一种使用大气压电浆的清洁装置,其包括:可供应具有某一压力的反应气体至下方的一反应气体供应部;与反应气体供应部平行且与其有一段间距地架设之一反应气体吸出部,该吸出部吸出并发散出具有某一压力的供应之反应气体;一电极部,其包括架设成与反应气体供应部平行,且在反应气体供应部及反应气体吸出部之间,且一绝缘材料的固定本体插入其间的第一及第二电极;一电力供应器,其可藉由施加一电力供应至第一及第二电极而在第一及第二电极的下方形成一电场;以及一桌子,其定位在反应气体供应部、反应气体吸出部以及电极部的下方,且支持拟清洁目标材料。
申请公布号 TW200303582 申请公布日期 2003.09.01
申请号 TW092103453 申请日期 2003.02.19
申请人 雷狄昂技术股份有限公司 发明人 林德圭
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人 恽轶群;陈文郎
主权项
地址 韩国