于超乾净之空气中用于蚀刻、清洗及乾燥基板的装置

摘要

一种用于基板(7)的蚀刻、清洗与乾燥装置包括一槽(5)，该槽(5)具有一扩散底部(9)及一溢流滑道(2)。投射喷嘴(10、11)配置于该扩散底部(9)中，以注入蚀刻流体LG与清洗流体LR于该槽中。该槽(5)的顶部具有至少一乾燥液体LS注入歧管(1)，以在构成清洗流体LR的水上方形成一均匀厚度的表面层。该乾燥流体LS不可溶混于水，且展现比水低的表面张力与密度。