可负作用光成像之抗反射底涂层

摘要

本发明系关于新颖负-作用、可光成像及可水显像抗反射涂层组合物及其用于影像处理之用途，藉形成该新颖抗反射涂层组合物之一层薄层介于一反射性基材与一光阻涂层间。该负型可光成像抗反射底涂层组合物是能在硷性显像剂中显像及是涂覆于负型光阻之下。