发明名称 资料储存装置及用于资料储存装置之读取/写入组件
摘要 提供以AFM为基础之资料储存装置的读取/写入组件。于特殊之具体实施例中,一读取/写入组件(30,45,50,65,80)包括杠杆装置(31,51,66,82)和一支撑结构(32,52,67,81),该杠杆装置连接至该支撑结构,以提供基本枢轴移动。杠杆装置(31,51,66,82)提供支撑结构上一对电气供应线(R,C)间的第一和第二电流路径,杠杆装置可经由该对供应线连接使用电力供应装置,进而可于写入模式和读取模式中作业。一写入模式加热器(36,47,56,73)配备于第一电流路径中的杠杆装置上,而且一读取/写入尖端(37,57,74,84)配备于该写入模式加热器上。一读取模式加热器(39,46,58,75,83)配备于第二电流路径中的杠杆装置上。去耦装置(38a,38b,40a,40b,60,61,77a,77b,78a,78b)安排用来当电力供应装置于读取模式作业时,禁止电流经由所使用的第一电流路径流至写入模式加热器。因此,该组件和具有分离之写入和读取模式之加热器可经由单一对供应线定址于写入及读取两种模式。其他具体实施例提供使用一热去耦机制的读取/写入组件(100),以及藉由杠杆装置与支撑结构间的一邻近感测安排执行读取感测的读取/写入组件(80)。同时提供原子力显微镜的感测装置(115),其中尖端移动可经由类似的邻近感测安排予以侦测。
申请公布号 TW550622 申请公布日期 2003.09.01
申请号 TW090118204 申请日期 2001.07.25
申请人 万国商业机器公司 发明人 葛德 K 宾尼;蜜雪儿 迪斯朋;彼得 威堤葛
分类号 H01J37/26 主分类号 H01J37/26
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路二○一号七楼
主权项 1.一种用于一资料储存装置(20)之读取/写入组件(30,45,50,65,80),该读取/写入组件包括:杠杆装置(31,51,66,82)和一支撑结构(32,52,67,81),该杠杆装置连接至该支撑结构,以提供基本枢轴移动,以及提供该支撑结构上一对电气供应线(R,C)间的第一和第二电流路径,该杠杆装置可经由该对电气供应线连接使用电力供应装置,而可于写入模式及读取模式中作业;一写入模式加热器(36,47,56,73),配备于第一电流路径中的杠杆装置上;一读取/写入尖端(37,57,74,84),配备于该写入模式加热器上;一读取模式加热器(39,46,58,75,83),配备于第二电流路径中的杠杆装置上;以及去耦装置(38a,38b,40a,40b,60,61,77a,77b,78a,78b),安排用来当电力供应装置于读取模式作业时,禁止电流经由使用的第一电流路径流至写入模式加热器。2.如申请专利范围第1项之读取/写入组件,其中去耦装置(38a,38b,40a,40b,60,61,77a,77b,78a,78b)额外安排用来当电力供应装置于写入模式作业时,禁止电流经由使用的第二电流路径流至读取模式加热器(39,46,58,75,83)。3.如申请专利范围第2项之读取/写入组件,其中该去耦装置包括写入去耦装置(38a,38b,60,77a,77b),当电力供应装置于读取模式作业时,用以禁止电流流至写入模式加热器,及读取去耦装置(40a,40b,61,78a,78b),当电力供应装置于写入模式作业时,用以禁止该电流流至读取模式加热器。4.如申请专利范围第3项之读取/写入组件,其中将该杠杆装置配置为一悬臂(31,51)。5.如申请专利范围第4项之读取/写入组件,其中将该读取模式加热器(39,46)设置得较写入模式加热器(36,47)更远离悬臂(31,51)与支撑结构(32,52)间的连接。6.如申请专利范围第4或第5项之读取/写入组件,其中:悬臂(31)包括两横向布置的脚部分(33a,33b),连接于支撑结构(32)其各别对应端,以及第一和第二桥接部分(34,35),各与两个脚部分互连;第一桥接部分(34)包括写入模式加热器(36),而且第二桥接部分(35)包括读取模式加热器(39);脚部分(33a,33b)和第一桥接部分(34)定义第一电流路径,而且脚部分(33a,33b)和第二桥接部分(35)定义第二电流路径;以及去耦装置(38a,38b,40a,40b)设置于悬臂上。7.如申请专利范围第6项之读取/写入组件,其中写入去耦装置(38a,38b)配备于第一桥接部分(34)的第一电流路径上,而且读取去耦装置(40a,40b)配备于第一桥接部分(34)之外的第二电流路径上。8.如申请专利范围第4或第5项之读取/写入组件,其中:悬臂(51)包括三个横向布置的脚部分(53a,53b,53c),连接于支撑结构(52)其各别对应端,一第一桥接部分(54),将中央脚部分(53b)与第一外侧脚部分(53a)互连,及一第二桥接部分(55),将中央脚部分(53b)与第二外侧脚部分(53c)互连;第一桥接部分(54)包括写入模式加热器(56),而且第二桥接部分(55)包括读取模式加热器(58);第一外侧脚部分(53a),第一桥接部分(54)和中央脚部分(53b)定义第一电流路径;第二外侧脚部分(53c),第二桥接部分(55)和中央脚部分(53b)定义第二电流路径;以及去耦装置(60,61)设置于支撑结构(52)上。9.如申请专利范围第8项之读取/写入组件,其中该写入去耦装置(60)连接于一该供应线(R)与第一外侧脚部分(53a)间,而且该读取去耦装置(61)连接于供应线(R)与第二外侧脚部分(53c)间。10.如申请专利范围第1.第2或第3项之读取/写入组件,其中该杠杆装置包括一延长的杠杆体(66,82)和两连接臂(68a,68b),该二连接臂从杠杆体(66,82)两侧向外延伸,连接杠杆体与支撑结构(67,81)而定义一枢轴(P),并且偏离杠杆体(66,82)末端,杠杆体相对于该枢轴运作,且其中写入模式加热器(73)和读取模式加热器(75,82)布置于枢轴(P)的相反侧位于或接近杠杆体的末端。11.如申请专利范围第10项之读取/写入组件,其中该读取模式加热器(75,83)设置得较写入模式加热器(73)更远离枢轴(P)。12.如申请专利范围第10或第11项之读取/写入组件,其中:杠杆体(66,82)包括两横向布置的脚部分(70a,70b):一第一桥接部分(71),与位于或接近杠杆体一末端的脚部分(70a,70b)互连,及一第二桥接部分(72),与位于或接近杠杆体另一末端的脚部分(70a,70b)互连;第一桥接部分(71)包括写入模式加热器(73),而且第二桥接部分(72)包括读取模式加热器(75);第一电流路径系以连接臂(68a,68b),介于连接臂与第一桥接部分(71)间的脚部分(70a,70b)区段,和第一桥接部分(71)加以定义;第二电流路径系以连接臂(68a,68b),介于连接臂与第二桥接部分(72)间的脚部分(70a,70b)区段,和第二桥接部分(72)加以定义;以及去耦装置(77a,77b,78a,78b)配备于杠杆体上。13.如申请专利范围第12项之读取/写入组件,其中写入去耦装置(77a,77b)配备于连接臂(68a,68b)与写入模式加热器(73)间的第一电流路径上,而且读取去耦装置(78a,78b)配备于连接臂(68a,68b)与读取模式加热器(75)间的第二电流路径上。14.如申请专利范围第3项之读取/写入组件,其与电力供应装置并用,该电力供应装置安排用来当写入模式时于供应线(R,C)间施加一极性的电位,而且当读取模式时于供应线(R,C)间施加相反极性的电位,其中:写入去耦装置(38a,38b,61,77a,77b)用以禁止电流以施加读取模式电位所导致的电流方向流至写入模式加热器(36,47,56,73),而且读取去耦装置(48a,48b,60,78a,78b)用以禁止电流以施加写入模式电位所导致的电流方向流至读取模式加热器(39,46,58,75,83)。15.如申请专利范围第14项之读取/写入组件,其中写入和读取去耦装置各包含至少一二极体。16.如申请专利范围第15项之读取/写入组件,其中各写入和读取去耦装置包含所设置的一对二极体(38a,38b,40a,40b,77a,77b,78a,78b),用以相对于垂直枢轴移动轴的经线轴而平衡杠杆装置(31,66)。17.如申请专利范围第4或第5项之读取/写入组件,其中该支撑结构(81)至少部分于基本上平行于枢轴移动轴(P)的一平面上,沿着杠杆装置(82)附近延伸,且其中读取模式加热器(83)于支撑结构(81)的一表面上方,沿着杠杆装置附近延伸,于读取模式加热器(83)与该表面间提供一间隙(G),使间隙(G)的厚度随着杠杆装置的枢轴移动而变化。18.如申请专利范围第17项之读取/写入组件,其中形成之杠杆装置(82)使写入模式加热器以读取/写入尖端(84)的方向较读取模式加热器更偏离该表面的平面。19.一种用于一资料储存装置(20)之读取/写入装置(22),包括读取/写入组件的一阵列(22),每一组件的一供应线系一列供应线(R),为该阵列(22)中同一列的所有组件所共用,而且每一组件的另一供应线系一行供应线(C),为该阵列(22)中同一行的所有组件所共用,其中该读取/写入组件(30,45,50,65,80)包括:杠杆装置(31,51,66,82)和一支撑结构(32,52,67,81),该杠杆装置连接至该支撑结构,以提供基本枢轴移动,以及提供该支撑结构上一对电气供应线(R,C)间的第一和第二电流路径,该杠杆装置可经由该对电气供应线连接使用电力供应装置,而可于写入模式及读取模式中作业;一写入模式加热器(36,47,56,73),配备于第一电流路径中的杠杆装置上;一读取/写入尖端(37,57,74,84),配备于该写入模式加热器上;一读取模式加热器(39,46,58,75,83),配备于第二电流路径中的杠杆装置上;以及去耦装置(38a,38b,40a,40b,60,61,77a,77b,78a,78b),安排用来当电力供应装置于读取模式作业时,禁止电流经由使用的第一电流路径流至写入模式加热器。20.一种资料储存装置(20),包括:一资料储存媒体(21):如申请专利范围第19项之读取/写入装置,该装置可相对于资料储存媒体(21)的一表面而设置,使该阵列(22)中每一组件的读取/写入尖端相对于该表面而偏动;以及电力供应装置(25),可于写入模式和读取模式中作业,于每一组件的供应线(R,C)间应用一电位;其中使用资料储存媒体(21)表面时,于一组件的供应线(R,C)间施加一写入模式电位,使传输自写入模式加热器的热造成该表面局部熔化,允许读取/写入尖端穿透,而形成一凹洞,反之,于供应线(R,C)间施加一读取模式电位,使传输自组件之读取模式加热器的热不足以熔化该表面。21.一种用于一资料储存装置(20)之读取/写入组件(100),该读取/写入组件(100)包括:杠杆装置(101)和一支撑结构(102),该杠杆装置连接至该支撑结构,以提供基本枢轴移动,以及提供该支撑结构上一对电气支撑线(R,C)间的至少一电流路径;一写入模式加热器(105),配备于电流路径中的杠杆装置(101)上;一读取/写入尖端(106),配备于写入模式加热器(105)上;以及一读取模式感测器(107),配备于电流路径中的杠杆装置(101)上;其中写入模式加热器(105)与杠杆装置之相邻区域(108,109),以及读取模式感测器(107)与杠杆装置之相邻区域(109,110)的热性质,藉由透过使用的供应线(R,C)施加一第一信号脉冲(SW),使写入模式加热器(105)能够加热至一写入温度TW,但读取模式感测器(107)保持在小于TW的温度,而且藉由透过使用的供应线(R,C)施加一第二信号脉冲(SR),其具有比第一信号脉冲(SW)更小的幅度和更长的期间,使读取模式感测器(107)能够加热至一读取温度TR<TW,但写入模式加热器(105)保持在小于TW的温度。22.如申请专利范围第21项之读取/写入组件(100),其中该写入模式加热器(105)较读取模式感测器(107)为小,其中与写入模式加热器(105)相邻的杠杆装置区域(108,109)提供来自使用之写入模式加热器的一相对较高之热损失率,且其中与读取模式感测器(107)相邻的杠杆装置区域(109,110)提供来自使用之读取模式感测器的一相对较低之热损失率。23.如申请专利范围第22项之读取/写入组件(100),其中杠杆装置(101)系以导电材料作成,而且以其形状定义至少一电流路径,且其中与读取模式感测器(107)相邻的杠杆装置区域(109,110)包含禁止来自使用之读取模式感测器的热损失限制。24.如申请专利范围第21.第22或第23项之读取/写入组件,其中将该杠杆装置(101)配置为一悬臂,其包括两横向布置的脚部分(103a,103b),于各别对应末端连接至支撑结构(102),及一桥接部分(104),将脚部分(103a,103b)互连,该脚部分和桥接部分定义一单一电流路径,且其中写入模式加热器(105)和读取模式感测器(107)各配备于或接近于桥接部分(104)。25.如申请专利范围第21.第22或第23项之读取/写入组件,其中该读取模式感测器包括一加热器。26.如申请专利范围第21.第22或第23项之读取/写入组件,其中该读取模式感测器包括一热电阻元件,其足够接近写入模式加热器(105),使施加第二信号脉冲(SR)期间来自使用之写入模式加热器的热损失造成读取模式感测器(107)加热至读取温度TR。27.如申请专利范围第21.第22或第23项之读取/写入组件,其中将读取模式感测器(107)设置得较写入模式加热器(105)更远离该枢轴移动轴(P)。28.如申请专利范围第21.第22或第23项之读取/写入组件,其中该支撑结构至少部分于基本上平行于枢轴移动轴(P)的一平面上,沿着杠杆装置附近延伸,且其中读取模式感测器于支撑结构的一平面上方,沿着杠杆装置附近延伸,于读取模式感测器与该表面间提供一间隙,使间隙的厚度随着杠杆装置的枢轴移动而变化。29.如申请专利范围第28项之读取/写入组件,其中形成之杠杆装置使写入模式加热器以读取/写入尖端的方向较读取模式感测器更偏离该平面表面。30.一种用于一资料储存装置之读取/写入装置(22),包括读取/写入组件(100)的阵列(22),每一组件的一供应线系一列供应线(R),为该阵列(22)中同一列的所有组件所共用,而且每一组件的另一供应线系一行供应线(C),为该阵列(22)中同一行的所有组件所共用,其中该读取/写入组件(100)包括:杠杆装置(101)和一支撑结构(102),该杠杆装置连接至该支撑结构,以提供基本枢轴移动,以及提供该支撑结构上一对电气支撑线(R,C)间的至少一电流路径;一写入模式加热器(105),配备于电流路径中的杠杆装置(101)上;一读取/写入尖端(106),配备于写入模式加热器(105)上;以及一读取模式感测器(107),配备于电流路径中的杠杆装置(101)上;其中写入模式加热器(105)与杠杆装置之相邻区域(108,109),以及读取模式感测器(107)与杠杆装置之相邻区域(109,110)的热性质,藉由透过使用的供应线(R,C)施加一第一信号脉冲(SW),使写入模式加热器(105)能够加热至一写入温度TW,但读取模式感测器(107)保持在小于TW的温度,而且藉由透过使用的供应线(R,C)施加一第二信号脉冲(SR),其具有比第一信号脉冲(SW)更小的幅度和更长的期间,使读取模式感测器(107)能够加热至一读取温度TR<TW,但写入模式加热器(105)保持在小于TW的温度。31.一种资料储存装置(20),包括:一资料储存媒体(21);如申请专利范围第30项之读取/写入装置(22),该装置可相对于资料储存媒体(21)的一表面加以设置,使该阵列中每一组件(100)的读取/写入尖端(106)相对于表面而偏动;以及电力供应装置(25),可于写入模式中作业,经由其供应线(R,C),将一该第一信号脉冲(SW)施加于每一组件(100),而且于读取模式中,经由其供应线(R,C),将一该第二信号脉冲(SR)施加于每一组件(100);其中使用资料储存媒体(21)表面时,当一该组件的写入模式加热器(105)加热至TW时,传输自写入模式加热器(105)的热造成该表面局部熔化,允许读取/写入尖端(106)穿透,而形成一凹洞,反之,当该组件的读取模式感测器(107)加热至TR时,传输自读取模式感测器(107)的热不足以熔化该表面。32.一种用于一资料储存装置(20)之读取/写入组件(30,45,50,65,80),该读取/写入组件包括:杠杆装置(31,51,66,82)和一支撑结构(32,52,67,81),该杠杆装置连接至该支撑结构,以提供基本枢轴移动,以及提供该支撑结构上一对电气供应线(R,C)间的一第一电流路径,其中该支撑结构至少部分于基本上平行于枢轴移动轴(P)的平面上,沿着杠杆装置附近延伸;一写入模式加热器(36,47,56,73),配备于第一电流路径中的杠杆装置上;一读取/写入尖端(37,57,56,84),配备于写入模式加热器上;一第一邻近感测器元件(91a,91b,92a,92b),配备于杠杆装置附近之支撑结构的一部分;以及一第二邻近感测元件(90,93),配备于杠杆装置上,且布置于第一邻近感测器元件上方,使第一与第二邻近感测器元件间的距离随着杠杆装置的枢轴移动而变化;其中至少一杠杆装置和支撑结构其中之一提供一第二电流路径,用以经由第一和第二邻近感测器元件耦合供应线(R,C)。33.如申请专利范围第32项之读取/写入组件,其中第一和第二邻近感测器元件的一元件包括一对接头电极(92a,92b),各经由第二电流路径连接至各别的该供应线(R,C),而且第一和第二邻近感测器元件的另一元件包括一桥接接头(93),且其中杠杆装置可于桥接接头(93)连接该对接头电极(92a,92b)的位置与桥接接头(93)中断接头电极(92a,92b)的位置间作为枢轴。34.如申请专利范围第32项之读取/写入组件,其中第一和第二邻近感测器元件的一元件包括一对电极(91a,91b),各经由第二电流路径连接至各别的该供应线(R,C),而且第一和第二邻近感测器元件的另一元件包括一对向电极(90),安排于该对电极(91a,91b)的对面,于其间提供一间隙,其中该间隙的厚度随着杠杆装置的枢轴移动而变化。35.如申请专利范围第33或第34项之读取/写入组件,其中第二邻近感测元件包括该对电极(91a,91b,92a,92b),因而杠杆装置提供第二电流路径。36.如申请专利范围第33或第34项之读取/写入组件,其与电力供应装置并用,可于写入模式中作业,施加一写入模式电位通过供应线,以及于读取模式中作业,施加一读取模式电位通过供应线,其中组件(30,45,50,65,80)包括去耦装置(38a,38b,40a,40b,60,61,77a,77b,78a,78b),安排用来当电力供应装置于读取模式作业时,禁止电流经由所使用的第一电流路径流至写入模式加热器(36,47,56,73)。37.如申请专利范围第36项之读取/写入组件,其中去耦装置(38a,38b,40a,40b,60,61,77a,77b,78a,78b)额外安排用来当电力供应装置于写入模式作业时,禁止电流经由所使用的第二电流路径流动。38.如申请专利范围第33或第34项之读取/写入组件,其中杠杆装置包括一延长的杠杆体(66,82)和两连接臂(68a,68b),该二连接臂从杠杆体(66,82)两侧向外延伸,连接杠杆体与支撑结构(67,81),而且定义轴(P),杠杆体相对于该轴运作,其中该轴(P)偏离杠杆体的末端,且其中写入模式加热器(73)和第二邻近感测器元件(90,93)布置于轴(P)相反侧位于或接近杠杆体的末端。39.如申请专利范围第38项之读取/写入组件,其中第二邻近感测器元件(90,93)较写入模式加热器(73)更偏离该轴(p)。40.如申请专利范围第38项之读取/写入组件,其中:杠杆体包括两横向布置的脚部分(70a,70b):一第一桥接部分(71),与位于或接近杠杆体一末端的脚部分互连,及一第二桥接部分(72),与位于或接近杠杆体另一末端的脚部分互连;第一桥接部分(71)包括写入模式加热器(73),而且第二桥接部分(72)包括第二邻近感测器元件(90,93);以及第一电流路径系以连接臂(68a,68b),介于连接臂与第一桥接部分(71)间的脚部分(70a,70b)区段,和第一桥接部分(71)加以定义。41.一种用于一资料储存装置(20)之读取/写入装置(22),包括读取/写入组件的一阵列(22),每一组件的一供应线系一列供应线(R),为该阵列中同一列的所有组件所共用,而且每一组件的另一供应线系一行供应线(C),为该阵列中同一行的所有组件所共用,其中该读取/写入组件(30,45,50,65,80)包括:杠杆装置(31,51,66,82)和一支撑结构(32,52,67,81),该杠杆装置连接至该支撑结构,以提供基本枢轴移动,以及提供该支撑结构上一对电气供应线(R,C)间的一第一电流路径,其中该支撑结构至少部分于基本上平行于枢轴移动轴(P)的平面上,沿着杠杆装置附近延伸;一写入模式加热器(36,47,56,73),配备于第一电流路径中的杠杆装置上;一读取/写入尖端(37,57,56,84),配备于写入模式加热器上;一第一邻近感测器元件(91a,91b,92a,92b),配备于杠杆装置附近之支撑结构的一部分;以及一第二邻近感测元件(90,93),配备于杠杆装置上,且布置于第一邻近感测器元件上方,使第一与第二邻近感测器元件间的距离随着杠杆装置的枢轴移动而变化;其中至少一杠杆装置和支撑结构其中之一提供一第二电流路径,用以经由第一和第二邻近感测器元件耦合供应线(R,C)。42.一种资料储存装置(20),包括:一资料储存媒体(21);如申请专利范围第41项之读取/写入装置(22),该装置可相对于资料储存媒体(21)的一表面加以设置,使该阵列中每一组件的读取/写入尖端相对于该表面而偏动;以及电力供应装置(25),其可于写入模式和读取模式中作业,施加一电位通过每一组件的供应线;其中使用资料储存媒体(21)表面时,当施加一写入模式电位通过该组件的供应线(R,C)时,传输自写入模式加热器的热造成该表面局部熔化,允许读取/写入尖端穿透,而形成一凹洞。43.一种用于一原子力显微镜之感测装置(115),该装置包括:杠杆装置(116)和一支撑结构(117),该杠杆装置连接至该支撑结构,以提供基本枢轴移动,而且支撑结构(117)至少部分于基本上平行于枢轴移动轴(P)的一平面上,沿着杠杆装置(116)附近延伸;以及一感测尖端(122),配备于杠杆装置(116)上,使尖端(122)与所扫描样本(14)间的原子力交互作用造成杠杆装置的该枢轴移动;其中杠杆装置(116)的部分(125,90,93)于支撑结构(117)上方,沿着杠杆装置附近延伸,使该等部分间的距离(G)随着该枢轴移动而变化,因而藉由该距离(G)的变化指示使用尖端所扫描的样本(14)之表面形态。44.如申请专利范围第43项之装置,其中该部分之杠杆装置位于或接近远离枢轴移动轴的杠杆装置末端。45.如申请专利范围第43或第44项之装置,其中该等杠杆装置(116)部分(125,90,93)包括一加热器(125),而且杠杆装置提供一电流路径,供加热器(125)经由使用支撑结构(117)而连接至一电力供应,因而以该部分之支撑结构作为一加热槽,使加热器(125)温度随着该距离的变化而变化。46.如申请专利范围第45项之装置,其中感测尖端(122)配备于杠杆装置(116)的一部分上,其以尖端(122)方向较加热器(125)更偏离支撑结构(117)该部分。47.如申请专利范围第43或第44项之装置,其中该部分之支撑结构包括一第一邻近感测器元件(91a,91b,92a,92b),而且该部分之杠杆装置包括一第二邻近感测器元件(90,93),且其中至少一杠杆装置(116)和该支撑结构(117)其中之一提供一电流路径,用以经由使用的第一和第二邻近感测器元件耦合一电力供应的终端。48.如申请专利范围第47项之装置,其中该第一和第二邻近感测器元件中的一元件包括一对电极(91a,91b),各可经由该电流路径连接至使用的各别终端,而且第一和第二邻近感测器元件中的另一元件包括一对向电极(90),安排于该对电极(91a,91b)对面,于其间提供一间隙(G),因此间隙厚度随着杠杆装置的枢轴移动而变化。49.如申请专利范围第48项之装置,其中该第二邻近感测器元件包括该对电极,因而可藉由杠杆装置(116)提供电流路径。50.如申请专利范围第43或第44项之装置,其中该杠杆装置包括一延长的杠杆体(116)和两连接臂(118a,118b),该二连接臂从杠杆体(116)两侧向外延伸,连接杠杆体与支撑结构(117),而且定义轴(P),杠杆体相对于该轴运作,其中该轴(P)偏离杠杆体的末端,且其中感测尖端(122)和该部分之杠杆装置(125,90,93)布置于轴(P)的相反侧位于或接近杠杆体(116)的末端。51.如申请专利范围第50项之装置,其中该部分之杠杆装置(125,90,93)较感测尖端(122)更偏离该轴(P)。52.如申请专利范围第50项之装置,其中杠杆体包括:两横向布置的脚部分(119a,119b),一第一桥接部分(120),其与位于或接近杠杆体(116)一末端的脚部分(119a,119b)互连,和一第二桥接部分(121),其与位于或接近杠杆体(116)另一末端的脚部分(119a,119b)互连;感测尖端(122)配备于第一桥接部分(120)上;以及第二桥接部分(121)包括该部分之杠杆装置(125,90,93)。53.如申请专利范围第52项之装置,其中该电流路径系以连接臂(118a,118b),介于连接臂与第二桥接部分(121)间的脚部分(119a,119b)区段,和第二桥接部分(121)加以定义。54.如申请专利范围第53项之装置,包括用以禁止电流经由第一桥接部分(120)于连接臂(118a,118b)间流动的装置。55.一种原子力显微镜,包括:如申请专利范围第43至第54项中任一项之感测装置(115);一样本支撑(15),用以支撑位于一位置上由感测尖端(122)加以扫描的一样本(14);用以使样本支撑(15)之相对移动生效的装置(16),和以尖端(122)扫描样本(14)的感测装置(115);以及于扫描一样本(14)期间侦测该距离(G)变化以提供样本表面形态之输出指示的装置(25)。图式简单说明:图1a至1c说明一资料储存装置的一先前读取/写入组件之结构及作业;图2系一原子力显微镜的一示意表示法,其中举例说明先前系统中所使用的基本侦测机构;图3系一资料储存装置的一示意表示法,其中可使用具体实施本发明的读取/写入组件;图4a系具体实施本发明其第一读取/写入组件的一示意之举例说明;图4b显示图4a之读取/写入组件的等效电子电路;图5系一读取/写入组件其第二具体实施例的一示意之举例说明;图6a系一读取/写入组件其第三具体实施例的一示意之举例说明;图6b显示图6a之读取/写入组件的等效电子电路;图7a系一读取/写入组件其第四具体实施例的一示意之举例说明;图7b显示图7a之读取/写入组件的等效电子电路;图8系一读取/写入组件其第五具体实施例的一示意之举例说明;图9a至9e举例说明本发明之具体实施例中所使用的各种邻近感测器安排;图10a系一读取/写入组件其第六具体实施例的一示意之举例说明;图10b显示图10a之读取/写入组件的等效电子电路;图10c举例说明用以驱动图10a之组件的读取及写入模式信号脉冲;以及图11系具体实施本发明之AFM感测装置的一示意表示法。
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