半导体设备用之可通气的涡轮式真空泵

摘要

本创作之可通气涡轮式真空泵，系用于一半导体设备。在一涡轮式抽气装置之分子流进气管路上，装置一通气管路，其上装置一自动阀，一手动阀、一节流元件、一封合元件以及一压力侦测元件。自动阀在该真空泵停止运转时，则自动开启阀门。而该手动阀与该封合元件则以人工方式开启。该封合元件乃用于封闭该进气管管路的末端。当涡轮式真空泵停止运作时，自动阀接收到停止讯息后，开启阀门，而现场人员则打开通气管路的封合元件，使外面气体可进入，接着打开该手动阀，使该通气管路完全通畅。并利用一节流元件控制进气的流量。另外利用一LED压力计，侦测涡轮式真空泵中的压力，当真空泵的压力与外界相同时，则亮起指示灯。

主权项

1.一种可通气的涡轮式真空泵,适用于一半导体设备,系包含:一涡轮式抽气装置,用以抽取一半导体设备槽室内之气体,以降低气压;一进气管路,连结于该涡轮式抽气装置,用以提供抽低压时所需之气体分子流;一通气管路,连结于该进气管路上,用以引入外界气体进行通气;一封合元件,用以封闭该通气管路末端,而该当该封合元件开启时,则外部气体通入该通气管路;一自动阀,设置于该通气管路上,用以在接收到该涡轮式抽气装置停止运转后,自动开启该阀门,使该自动阀门两端管路成通路;一手动阀,设置于该通气管路上,手动开启后可使该手动阀门两端管路成通路;以及一节流元件,设置于该通气管路上,用以在通气管路上的该封合元件与该自动阀与手动阀均开启,而使该通气管路成通气状态时,控制流入该涡轮式抽气装置内的气体流量。2.根据申请专利范围第1项所述之可通气的涡轮式真空泵,其中更包含一压力检测元件,用以检测并显示该涡轮式抽气装置内部的压力。3.根据申请专利范围第2项所述之可通气的涡轮式真空泵,其中该压力检测元件系为一具有LED灯的压力计,该压力计在压力达到一大气压时LED灯自动亮起。4.根据申请专利范围第1项所述之可通气的涡轮式真空泵,其中该封合元件为一螺合式扣环、一O型橡皮环与一垫片之组合。5.根据申请专利范围第1项所述之可通气的涡轮式真空泵,其中该自动阀包含一自动阀控制器与一阀门,该自动阀控制器乃在该涡轮式抽气装置停止运转时,开启该阀门。6.根据申请专利范围第1项所述之可通气的涡轮式真空泵,其中该通气管路上系依序设置该自动阀、该手动阀、该节流元件与该封合元件。图式简单说明:第1图所示为习知的涡轮式真空泵装置图。第2图所示为依据本创作之一实施例之半导体设备用之可通气涡轮式真空泵装置图。第3图所示为一封合元件之构造。