发明名称 气体中杂质的分析方法及装置
摘要 一种气体中杂质的分析方法及装置,能够在短时间正确的进行吸附性或反应性高的气体中的杂质分析。此方法系在测定开始前,以预定的时间间隔将预定量的试料气体复数次导入分析系统内,并开始杂质的分析。
申请公布号 TW550384 申请公布日期 2003.09.01
申请号 TW089122065 申请日期 2000.10.20
申请人 酸素股份有限公司 发明人 西名 明;田中诚;佐藤 哲也
分类号 G01N27/02 主分类号 G01N27/02
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路二段一○○号七楼之一
主权项 1.一种气体中杂质的分析方法,用以分析以一管性分离一试料气体中的一杂质,此方法系以一预定的时间间隔,将一预定量的试料气体复数次导入一分析系统内以开始该杂质的分析。2.一种气体中杂质的分析装置,其中设置用以分离一试料气体中的一杂质的复数个管柱、分析以该些管柱分离的该杂质的一检测器,更具备有:该试料气体的一导入通路;复数条分岔通路,由该导入通路分岔形成,且该些分岔通路设置有该管柱;一取样阀,设置在该些分岔通路,用以控制该试料气体的流量并供给该试料气体给该管柱;以及一切换阀,设置在该些管柱的下游处,用以切换通路,当任意一个该管柱流出的气体经一排气通路流至供给该检测器的一供给通路,则另一个该管柱流出的气体经一排气通路排出分析系统外。图式简单说明:第1图所示为能够适用于本发明方法的分析装置之一种系统图;第2图所示为本发明的分析装置之一种形态的系统图;第3图所示为比较例的测定回数和波峰高度的关系示意图;以及第4图所示为实施例的二氧化碳测定的测定回数和波峰高度的关系示意图。
地址 日本