| 主权项 |
1.一种「晶圆多重清洗烘乾机」,系在机架固定一具有可启闭式顶盖之主筒,在主筒近内底部外接纯水进出水管路,以及支持一受控驱动之转盘,供立置定位一放入整叠相隔晶圆之收纳架;沿主筒内缘相隔设置超音波产生器、第一及第二排喷嘴,藉由超音波产生器振荡纯水清洗晶圆,以及后续第一排喷嘴喷射纯水清洗晶圆,再由第二排喷嘴喷射热气烘乾晶圆。2.如申请专利范围第1项所述「晶圆多重清洗烘乾机」,其中,该主筒上段外接一纯水溢流管路。3.如申请专利范围第1项所述「晶圆多重清洗烘乾机」,其中,该转盘上立置四角落支杆,以配合定位收纳架之相对端部。4.如申请专利范围第1项所述「晶圆多重清洗烘乾机」,其中,更具有一纯水槽,其出口经由泵浦连接主筒之进水管路与第一排喷嘴之喷水管路。5.如申请专利范围第1项所述「晶圆多重清洗烘乾机」,其中,该主筒周缘两相对侧各装设一超音波产生器。6.如申请专利范围第1项所述「晶圆多重清洗烘乾机」,其中,该第二排喷嘴之热气管路系输送氮气。图式简单说明:第1图系本创作实施例晶圆多重清洗烘乾机之正视图;第2图系第1图之左侧视图,并且打开顶盖;第3图系第1图之俯视图;第4图系第1图之配管图;第5图系第1图主筒及相关构件之剖视图;第6图系如第5图另一侧之剖视图;以及第7图系第5图之俯视图。 |
