静电微继电器、使用该静电微继电器之无线装置及测量装置,以及接点开关方法

摘要

本发明系一种可廉价轻易制作之既简单又小型的构造，其除了高频特性优之外，亦可获得适当的接点离开力。其解决手段系将形成于固定基板1上的信号线5a、5b配置在同一直线上。又，在固定基板1上，介以设于以活动接点16为中心的点对称之位置2处上的梁部11来弹性支撑活动基板2。从活动基板2至少除去与信号线5a、5b相对配置的部分。将活动接点16形成与配置有上述信号线5a、5b之直线相正交，且在不与上述信号线5a、5b相对配置的2处作弹性支撑。上述基板1、2之任一方，系在接点闭合后，未设置凸部而直接在固定电极4与活动电极12之间施加电压时，固定接点7与活动接点16于接触后，接着使固定基板1与活动基板2相顶接的部分上，以上述活动接点16为中心而形成一对点对称的凸部17。

主权项

1.一种静电微继电器,其系根据在形成于固定基板上之固定电极、及介以梁部支撑于上述固定基板之活动基板所形成的活动电极之间施加电压时所产生的静电引力而驱动上述活动基板,并对形成于上述固定基板上的固定接点、及形成于上述活动基板上的活动接点施以电性开关者,其特征为:于上述固定基板或上述活动基板之至少一方具备凸部,上述凸部,系设在未设置上述凸部而直接在上述固定电极与上述活动电极之间施加电压时,上述固定接点与上述活动接点于接触后,接着使上述固定基板与上述活动基板相顶接的位置上。2.如申请专利范围第1项之静电微继电器,其中,在上述固定电极与上述活动电极之间施加电压时,上述固定基板或上述活动基板之至少一方,系在上述凸部于接触后接着使上述固定电极与上述活动电极相顶接的位置上配置其他的凸部者。3.如申请专利范围第1项之静电微继电器,其中,上述凸部,系由绝缘材料所构成。4.如申请专利范围第1项之静电微继电器,其中,在与设置上述凸部之基板不同的上述固定基板或上述活动基板之与上述凸部相顶接的位置上,不配置上述固定电极或上述活动电极者。5.一种无线装置,其特征为:将上述申请专利范围第1项所述之静电微继电器,设计成可对天线与内部电路之间的电信号进行开关者。6.一种测量装置,其特征为:将上述申请专利范围第1项所述之静电微继电器,设计成对测定对象物与内部电路之间的电信号进行开关者。7.一种接点开关方法,其系根据在形成于固定基板上之固定电极、及介以梁部支撑于上述固定基板之活动基板所形成的活动电极之间施加电压时所产生的静电引力而驱动上述活动基板,并对形成于上述固定基板上的固定接点、及形成于上述活动基板上的活动接点施以电性开关者,其特征为:于上述固定基板或上述活动基板之至少一方具备凸部,上述凸部,系以预定的高度配置在未设置上述凸部而直接在上述固定电极与上述活动电极之间施加电压时,上述固定接点与上述活动接点于接触后,接着使上述固定基板与上述活动基板相顶接的位置上,在对上述固定电极与上述活动电极之间施加电压时,上述固定接点与上述活动接点相接触之前,先使上述凸部与其相对的基板相顶接。图式简单说明:图1系第一实施形态之静电微继电器的组装立体图。图2系图1之分解立体图。图3系显示从相反侧观看图2所示之活动基板之状态的剖视图。图4(a)~4(i)系显示图1所示之静电微继电器之加工过程的剖视图。图5(a)~5(d)系显示图1所示之静电微继电器之动作状态的模型图。图6系显示固定基板与活动基板之间隙尺寸与静电引力及活动基板之弹性力的关系图表。图7系显示无线装置采用图1之静电微继电器之状态的方块图。图8系显示测量装置采用图1之静电微继电器之状态的方块图。图9(a)、9(b)系其他实施例之静电微继电器的俯视图(a)及剖视图(b)。图10(a)、10(b)系其他实施例之静电微继电器的俯视图(a)及剖视图(b)。