发明名称 PROCEDE DE TRAITEMENT PAR SULFURATION DE SURFACE SEMI-CONDUCTRICE COMPOSE III ET V
摘要
申请公布号 FR2825513(B1) 申请公布日期 2003.08.29
申请号 FR20010007166 申请日期 2001.05.31
申请人 SAGEM SA 发明人 LORANS DOMINIQUE;CAVANA BRUNO;ETCHEBERRY ARNAUD;HERLEM MICHEL;VIGNERON JACKY
分类号 H01L21/306;H01L31/18;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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