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发明名称 FOLDED LONGITUDINAL TORSIONAL HINGE FOR GIMBALED MEMS MIRROR HINGE
摘要 <p>A circular mirror (12) is connected to the gimble (44) at opposing, but offset from center axis locations (36) and (37) and by compound longitudinal hinges (40) and (42).</p>
申请公布号 WO2003071331(P1) 申请公布日期 2003.08.28
申请号 US2003005167 申请日期 2003.02.18
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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