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Beschrieben wird ein Verfahren zur Behandlung einer Metalloberfläche zur Mikroaufrauung der Metalloberfläche, ohne dass ein rötlich-brauner bis schwarzer Oxidfilm auf der Metalloberfläche gebildet wird. Modifizierte Oxidersatz- bzw. -austauschmittel, abgeleitet von Oxidersatz- bzw. -austauschmittel, werden dadurch hergestellt, dass die Menge von mindestens einer Komponente in dem Oxidersatz- bzw. -austauschmittel auf einen Wert oberhalb oder unterhalb einer optimierten Menge dieser Komponente in dem Oxidersatz- bzw- -austauschmittel abgeändert wird. Das modifizierte Oxidersatz- bzw. -austauschmittel wird dann dazu verwendet, um eine Metalloberfläche ohne Bildung eines Oxidfilms auf dem Metall mikroaufzurauen. Ein temporärer Photoresist kann auf die behandelte Metalloberfläche auflaminiert werden und Teile des Photoresists werden entwickelt und von dem Metall abgestreift, ohne dass die Besorgnis des Auftretens eines "resist lock-in" besteht.
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