| 发明名称 |
Verwendung eines Beugungsgitters mit hohem Aspektverhältnis |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE50100398(D1) |
申请公布日期 |
2003.08.28 |
| 申请号 |
DE20015000398 |
申请日期 |
2001.04.30 |
| 申请人 |
CARL ZEISS |
发明人 |
KLEEMANN, BERND;HEIDEMANN, KLAUS |
| 分类号 |
G02B5/18;(IPC1-7):G02B5/18 |
主分类号 |
G02B5/18 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
