Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zu dessen Herstellung

摘要

Erfindungsgemäß wird ein mikromechanisches Bauelement mit einem Substrat (1), zumindest einer Membran (8) und einem zwischen dem Substrat (1) und der Membran (8) angeordneten Hohlraum (6) bereitgestellt, wobei die Membran (8) über dem Hohlraum (6) mit Federn (9) aufgehängt ist. Das erfindungsgemäße mikromechanische Bauelement besitzt den Vorteil, dass sich bedingt durch die konkave (vertiefte, aus der Sicht der Membran nach innen gewölbte) Ausgestaltung der Randbereiche (16) der Membran (8) ein in der Membranschicht vorhandener Stressgradient nur noch gering auswirken kann. DOLLAR A Insbesondere können Verbiegungen der Membran (8), die herkömmlicherweise von einem Stressgradienten verursacht werden, deutlich reduziert werden.