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发明名称 Verfahren zum Reinigen eines Substrats und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
摘要
申请公布号 DE69723699(D1) 申请公布日期 2003.08.28
申请号 DE19976023699 申请日期 1997.10.08
申请人 RECHERCHE ET DEVELOPPEMENT DU GROUPE COCKERILL SAMBRE, EN ABREGE: RD-CS 发明人 VANDEN BRANDE, PIERRE;WEYMEERSCH, ALAIN
分类号 C23C14/02;C23F4/00;C23G5/00;H01J37/34;(IPC1-7):C23G5/00 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
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