METHOD FOR THE PRODUCTION OF A POROUS MATERIAL WITH A PERIODIC PORE ARRANGEMENT

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erzeugung von poroesem Material mit periodischer Porenanordnung unter Verwendung eines Nanoimprint-Stempels, bei dem in einem Oberflaechenbereich (14) einer Materialschicht (16) Keimstellen (20) mit einem mittleren Keimabstand (DKeim) mit Hilfe eines Stempels (10) erzeugt werden, dessen Stempelflaeche (12) zumindest bereichsweise mit periodisch angeordneten Erhebungen (18) mit dem mittleren Keimabstand (DKeim) versehen ist, und der Oberflaechenbereich (14) der Materialschicht (16) einer elektrochemischen Aetzloesung und einer elektrischenSpannung derart ausgesetzt wird, dass sich in Abhaengigkeit von der Anordnung der Keimstellen (20) und von der gewaehlten Spannung eine selbstorganisierte regelmaessige Porenstruktur (24) mit einem mittleren Porenabstand (Dpor) ausbildet, der ungleich dem Mittleren Keimabstand (DKeim) ist. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zur Herstellung des Stempels und den Stempel selbst.