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发明名称 LICHTEMPFINDLICHE ZUSAMMENSETZUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON MUSTERN
摘要
申请公布号 DE69816558(D1) 申请公布日期 2003.08.28
申请号 DE19986016558 申请日期 1998.04.27
申请人 TOYO GOSEI KOGYO CO. LTD., ICHIKAWA 发明人 WATANABE, MASAHARU-PHOTO. MATERIALS RESEARCH L;TOCHIZAWA, NORIAKI-PHOTOSENSITIVE MATERIAL RES.;IMAMURA, YUKARI-PHOTOSENSITIVE MATERIALS RES.;KIKUCHI, HIDEO-PHOTOSENSITIVE MATERIALS RES.
分类号 G03F7/004;C08F2/50;C08L33/26;C08L39/06;C09D4/00;G02B5/20;G03F7/00;G03F7/008;G03F7/012;G03F7/033;G03F7/038;H01J9/227;(IPC1-7):G03F7/012;C09D5/00 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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