光学混合元件和图象曝光装置

摘要

用于混合从不同方向入射的多束光后在1个方向上射出的光学器件，包含：分别接收从第1、第2和第3发光元件列射出的第1、第2和第3光的第1、第2和第3透明部件；设置接合第1透明部件和第2透明部件，在使第1以及第3光透过的同时使第2光在和已透过的第1以及第3光相同的方向上反射的第1光选择膜的第1接合面；设置接合第1透明部件和第3透明部件，在使第3光透过的同时使第1光在和已透过的第3光相同的方向上反射的第2光选择膜的第2接合面；使在第1光选择膜中在P偏振光从透过向反射转换时的波长和S偏振光从透过向反射转换时的波长的差异区域上，不包含第1光的波长区域的波长控制元件。

主权项

1.一种光学器件，在用于混合从不同方向入射的多束光后在1个方向上射出的光学器件中，其特征在于包含：第1透明部件，接收从第1发光元件列射出的第1光；第2透明部件，接收从第2发光元件列射出的第2光；第3透明部件，接收从第3发光元件列射出的第3光；第1接合面，设置有接合上述第1透明部件和上述第2透明部件，在使上述第1以及第3光透过的同时使上述第2光在和已透过的上述第1以及第3光相同方向上反射的第1光选择膜；第2接合面，设置有接合上述第1透明部件和上述第3透明部件，在使上述第3光透过的同时使上述第1光在和已透过的上述第3光相同方向上反射的第2光选择膜；波长控制元件，在上述第1光选择膜中，使在P偏振光从透过向反射转换时的波长和S偏振光从透过向反射转换时的波长的差异区域上，不包含上述第1光的波长区域。