发明名称 校验晶片
摘要 本发明提供一种具有聚合物小球(P)的校验晶片(W),晶片上的这些聚合物小球(P)在某一温度范围内经受热处理,在此温度范围内这些聚合物小球开始软化。
申请公布号 CN1119643C 申请公布日期 2003.08.27
申请号 CN98118715.3 申请日期 1998.08.26
申请人 西门子公司 发明人 S·格耶尔;M·霍尔恩;K·库尔斯;R·戈特尔
分类号 G01N1/28 主分类号 G01N1/28
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 马铁良;王忠忠
主权项 1.具有在上面附着聚合物小球(P)的校验用晶片,其特征在于,聚合物小球(P)是借助热处理方法固定的,其中热处理温度是在某一温度范围内进行的,在该温度范围内这些聚合物小球(P)开始软化。
地址 联邦德国慕尼黑