在基底上定位和安置半导体小片的视点特征的方法

摘要

使用一种具有向下视频系统及水平视频系统的拾取和安置机器在拾取元件前利用拾取预览系统对元件的表面进行检测。拾取后，在元件向基底安置位置输送的过程中，用水平视频系统确定元件的形心和零度旋转轴，以及在元件上到所期望的有效特征的偏移修正量。然后，将元件上期望的有效特征在最短时间内以最小误差安置在基底上的精确的预定位置上。

主权项

1.一种在基底上安置元件从而使元件的视点特征精确地与基底上的预定目标或安置特征相重合的方法，包括以下步骤：在拾取前使用下视视频系统对元件进行检测；将元件的像素图像存储在处理装置中；确定待拾取元件外周边的形心以及待安置在基底上的一个或更多视点特征的形心；在元件的形心处或附近拾取元件，并将其输送到安置位置或附近；在输送元件过程，用水平视频系统确定元件外周边的形心及其正交或零度旋转位置；在输送元件过程，确定X和Y轴上的任何偏差修正量，以便将预定视点安置在基底上的预定的X和Y安置目标位置上；以及将所述元件的特征的视点安置在所述基底上的所述预定位置。