单层多自由度气静压纳米定位平台

摘要

一种单层多自由度气静压纳米定位平台，为一微动平台精密定位装置，主要是于一固定底座上以气静压轴承装设工作平台，并在固定底座与工作平台相对的X、Y、Z平面上装设电磁力致动模组以及位移感测器；藉此，利用电磁力控制技术，应用于气静压平台装置，以平台外部的感测器直接测量平台位置，所得测量资料作为回馈信号，以获得平台精度的补偿，进而以单层结构达成多自由度纳米定位平台的高精度需求。

主权项

1、一种单层多自由度气静压纳米定位平台，其特征是：其主要是于固定底座上以气静压轴承装设一工作平台，并于固定底座与工作平台相对的任意三个非平行面的平面上装设位移感测器。