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发明名称 Scanning method for an ion implanter and apparatus therefor
摘要
申请公布号 EP0795888(B1) 申请公布日期 2003.08.27
申请号 EP19970301621 申请日期 1997.03.11
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 EDWARDS, PETER I.T.;WRIGHT, CHRISTOPHER P.;KINDERSLEY, PETER T.
分类号 H01J37/304;C23C14/48;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/304
代理机构 代理人
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