用于光学复用器/解复用器的薄膜滤波器

摘要

公开了一种用于光学复用器/解复用器的高度可靠的薄膜滤波器，其中在光学薄膜中几乎不出现诸如缺口或裂缝的缺陷。该薄膜滤波器包括一玻璃基板和形成于该玻璃基板表面上的光学薄膜。在垂直于玻璃基板表面的平面上，在光学薄膜侧面与玻璃基板表面间的交点处，该光学薄膜的侧面与玻璃基板成一锐角，最好为6至60°的角。在玻璃基板表面上形成光学薄膜，并且通过干蚀刻形成光学薄膜侧面后，用切块机之类切割该玻璃基板，制造出单个薄膜滤波器元件。由于在切割玻璃基板期间并不切割光学薄膜，故在光学薄膜侧面上不会出现诸如缺口或裂缝的缺陷。由于它形成一斜面，所以该光学薄膜侧面基本上没有缺口或裂缝。

主权项

1.一种用于光学复用器/解复用器的薄膜滤波器，包括一玻璃基板和一形成于该玻璃基板表面上的光学薄膜，该光学薄膜具有多个层叠的腔，每个腔具有一间隔物层和两组镜面层，每组镜面层彼此对称地层叠在间隔物层的每一侧，每组镜面层具有彼此交替层叠的多个低折射率膜和多个高折射率膜，其中，在垂直于玻璃基板表面的平面上，在光学薄膜侧面与玻璃基板表面间的交点处，该光学薄膜的侧面与玻璃基板表面成一锐角。