用于洁净环境的压力传送器

摘要

提供一种用于洁净加工环境的压力传送器(14)。压力传送器(14)包括：过程连接器(48)，焊接套环(42)，压力传感器模块(46)，框架(26)，和外壳(22)。过程连接器(48)可与过程流体(18)的源连通，并使过程流体流向压力传感器模块(46)。过程连接器(48)封接至压力传感器模块(46)，将过程流体耦连至压力传感器(60、80)。焊接套环(42)围绕压力传感器模块(46)安置，提供第二次过程流体密封。压力传感器模块电连接至测量电路系统(58)，以提供指示过程流体压力的数字数据。框架(26)耦连至焊接套环(42)，外壳(22)可耦连接至框架(26)和焊接套环(42)，当固定就位时，外壳(26)安置在焊接套环(42)上。压力传感器模块(46)包括隔离膜片(76)，其在操作时与压力传感器(60、80)耦连。压力传感器(60、80)包括可挠曲的传感器膜片，其上设有元件提供随膜片挠曲(60、80)而变化的电特性。隔离膜片和可挠曲的膜片被填充材料(82)互相隔开。填充材料(82)可以是聚氨酯。

主权项

1、一种用于洁净环净的压力传送器，压力传送器包括：可与过程流体源耦连的过程连接器；压力传感器模块，其与过程连接器连接，与过程流体实现流体连通，压力传感器模块具有随过程流体压力而变化的电特性；测量电路系统，其操作时与压力传感器模块耦连，测量电路系统用于提供基于电特性的至少一种量测的信号；通信电路系统，其与测量电路系统耦连，用于向过程控制回路提供压力相关信息；其中，压力传送器进一步包括焊接至过程连接器并安置在压力传感器模块周围的焊接套环，以提供对过程流体的第二次密封，焊接套环从焊接套环的外径向外延伸。