压电振动器的制造方法

摘要

提供了一种具有可避免不均匀连接的电极结构的压电振动器。形成多个电极图案160，其包括一对形成在晶体振动器110上的激励电极膜80和81以及与一对激励电极膜80和81相连并形成于各框架形部分100上的框架电极38和39，并且进行调节频率的过程。之后，在晶片130上再次形成包括一对形成在各晶体振动器110上的激励电极膜80和81以及与一对激励电极膜80和81相连并形成于各框架形部分100上且均被短路的连接膜40和41的多个电极图案，晶片130可形成由晶体振动器110和框架形部分100构成的多个振动器20，从而可通过施加电压来进行阳极连接。

主权项

1.一种制造压电振动器的方法，包括：形成构成了振动器的振动件和位于所述振动件周边的框架的外部成形形状的步骤；在所述振动件处形成第一激励电极的工序，在所述振动件处形成与所述第一激励电极分开的平衡物的工序；调节所述振动器的性能的工序；去除所述第一激励电极的工序；在所述振动器的表面处形成金属膜的工序；和使所述金属膜形成图案并形成第二激励电极的工序。