线宽测定方法和线宽测定装置

摘要

本发明的目的是提供一种线宽测定装置，无论测定样品的图形剖面形状如何，都能直接正确地测定其图形底部侧的长度。在线宽测定装置中，包括：对透明基板的被测定物进行投影的光学显微镜；以及对投影的被测定物进行摄像并变换成图像信号的摄像部；通过对图像信号进行运算处理来测定被测定物的线宽，其中，该线宽测定装置配有将所述透明基板大致垂直保持的固定台，所述光学显微镜从所述透明基板的背面侧对被测定物进行投影。

主权项

1.一种线宽测定方法，用于线宽测定装置，该线宽测定装置包括：支撑形成有被测定物的测定基板的固定台；对所述被测定物进行照明的照明部件；通过光学显微镜对所述测定基板进行摄像的摄像装置；以及对来自所述摄像装置的图像信号进行处理，对所述被测定物的尺寸进行测量的信号处理部；该线宽测定方法的特征在于：将所述摄像装置配置在与所述测定基板的形成有所述被测定物一侧的相反侧上，通过所述照明部件从所述测定基板侧对所述被测定物进行照明，将其反射光通过所述测定基板由所述摄像装置进行摄像。