| 发明名称 | 刻蚀溶液在刻蚀聚酰亚胺膜中的用途 | ||
| 摘要 | 包括羟烷基胺、碱金属化合物和水，或包括脂族醇，脂族胺，碱金属化合物和水的树脂刻蚀溶液，和使用该树脂刻蚀溶液来刻蚀在一侧面或两侧面上形成的光刻胶图案或金属层图案的聚酰亚胺膜。 | ||
| 申请公布号 | CN1119700C | 申请公布日期 | 2003.08.27 |
| 申请号 | CN97121389.5 | 申请日期 | 1997.09.19 |
| 申请人 | 东丽工程株式会社 | 发明人 | 铃木笃;相本真由美;久保田隆;秋田雅典;伊藤釭司 |
| 分类号 | G03F7/00 | 主分类号 | G03F7/00 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 孙爱 |
| 主权项 | 1.一种刻蚀溶液在刻蚀聚酰亚胺膜中的用途，其中所述刻蚀溶液包括羟烷基胺，碱金属氢氧化物和水，其中以刻蚀溶液为基础计羟烷基胺的浓度是4％-70％，碱金属氢氧化物的浓度为10％-48％。 | ||
| 地址 | 日本大阪 | ||