静电驱动垂直微镜微光学开关及其制作方法

摘要

本发明属于光纤通讯中微光学信息处理技术领域，涉及静电驱动垂直微镜微光学开关及其制作方法。包括芯片、金引线、金属封装外壳及带尾纤的光纤活动连接器，该芯片由硅衬底，入射、出射光纤，制作在硅衬底上由多晶硅-氮化硅复合微梁支撑的微镜，位于该微梁上的上电极和位于绝缘介质膜之下的下电极所组成。本发明具有结构简单，制造方便，能够实现自组装和自校准，光功率损失小，开关时间短，串扰小，耐冲击、振动，驱动电压低，能耗低，使用方便等诸多优点，易于推广应用。

主权项

1、一种微光学开关，其特征在于，所包括的芯片由硅衬底，插入硅衬底上的光纤定位槽中的入射、出射光纤，制作在硅衬底上由多晶硅-氮化硅复合微梁，由该微梁支撑的用于反射光线的与硅衬底垂直的微镜，位于该微梁上的上电极和位于绝缘介质膜之下的下电极所组成，利用静电驱动微梁作上下运动，把微镜切入或离开光路，从而实现光学开关功能。