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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND PRODUCTION METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 KR20030069986(A) 申请公布日期 2003.08.27
申请号 KR20037002944 申请日期 2003.02.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/8244;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/11 主分类号 H01L21/8244
代理机构 代理人
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