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发明名称
REDUCTION OF DAMAGE IN SEMICONDUCTOR CONTAINER CAPACITORS
摘要
申请公布号
KR20030070077(A)
申请公布日期
2003.08.27
申请号
KR20037008458
申请日期
2003.06.20
申请人
发明人
分类号
H01L21/8242;H01L27/108;H01L21/02
主分类号
H01L21/8242
代理机构
代理人
主权项
地址
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