发明名称 REDUCTION OF DAMAGE IN SEMICONDUCTOR CONTAINER CAPACITORS
摘要
申请公布号 KR20030070077(A) 申请公布日期 2003.08.27
申请号 KR20037008458 申请日期 2003.06.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/8242;H01L27/108;H01L21/02 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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