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发明名称 Rectangular cathodic arc source and method of steering an arc spot
摘要
申请公布号 GB2368597(B) 申请公布日期 2003.08.27
申请号 GB20010025844 申请日期 2000.04.07
申请人 VLADIMIR I * GOROKHOVSKY 发明人 VLADIMIR I * GOROKHOVSKY
分类号 C23C14/32;C23C14/24;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
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