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发明名称 METHOD FOR PRODUCING MATERIAL OF ELECTRONIC DEVICE
摘要
申请公布号 KR20030070126(A) 申请公布日期 2003.08.27
申请号 KR20037009626 申请日期 2003.07.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;C23C8/02;C23C8/34;C23C8/36;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/314;H01L21/316 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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