发明名称
摘要
申请公布号 JP3439379(B2) 申请公布日期 2003.08.25
申请号 JP19990163386 申请日期 1999.06.10
申请人 发明人
分类号 H01L27/092;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/088;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/823;H01L21/823 主分类号 H01L27/092
代理机构 代理人
主权项
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