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发明名称 Purification of organometallic or heteroatomic compounds useful in semiconductor manufacture involves contacting the compounds with a catalyst formed of metal palladium deposited on a porous support
摘要
申请公布号 IT1318474(B1) 申请公布日期 2003.08.25
申请号 IT2000MI00881 申请日期 2000.04.19
申请人 SAES GETTERS S.P.A. 发明人 VERGANI GIORGIO;SUCCI MARCO
分类号 B01D;C07F;C23C 主分类号 B01D
代理机构 代理人
主权项
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