| 主权项 |
1.一种基板检查装置,按既定间隔将搬入位置、位置偏差检测位置、检查位置以及搬出位置设置在一圆周上,并将既定单位之被检查基板沿所述圆周按既定间隔搬送,在各个位置上,并行地进行上述被检查基板之搬入、上述被检查基板的偏离基准位置的偏差量之检测、上述被检查基板之配线检查、已检查完毕的被检查基板之搬出处理,其特征在于包括:旋转桌,与上述圆周同圆心配置,在其边缘部按既定间隔至少设有四个保持上述既定单位的被检查基板之基板保持装置;旋转桌驱动装置,用于按照各个既定旋转角度驱动旋转上述旋转桌,将上述旋转桌之各个基板保持装置所保持之被检查基板从上述搬入位置搬送至位置偏差检测位置、检查位置以及搬出位置;搬入装置,配置于上述搬入位置,用于将上述既定数量之被检查基板搬入上述旋转桌之基板保持装置;位置偏差检测装置,配置于上述位置偏差检测位置,用于对上述旋转桌所搬送的上述被检查基板之偏离基准位置的偏差量进行检测;检查装置,配置于上述检查位置,借助于检查治具对上述旋转桌所搬来的被检查基板之配线进行检查;修正装置,根据上述位置偏差检测装置所检测出之偏差量的资料,对位于检查位置之被检查基板与上述检查治具间之相对位置进行修正;及搬出装置,配置于上述搬出位置,用于将上述旋转桌所搬来之已检查完毕的被检查基板搬出该旋转桌。2.如申请专利范围第1项之基板检查装置,其中上述位置偏差检测装置包括:标记检测装置,检测上述被检查基板上所设置之定位标记;驱动装置,在与上述旋转桌平行之平面上驱动上述标记检测装置;及偏差量运算装置,根据上述标记检测装置从既定位置开始至检测出标记为止之移动量,对上述被检查基板之偏离基准位置的偏差量进行运算。3.如申请专利范围第2项之基板检查装置,其中:上述标记检测装置包括具备光轴及既定尺寸视野之摄影装置;上述偏差量运算装置,使用上述摄影装置根据从上述既定位置开始至在视野内捕捉到被检查基板之定位标记的影像为止之摄影装置的移动量,和摄影装置的视野中的定位标记的影像之偏离摄影装置的光轴的偏差量,运算出被检查基板之偏离基准位置的偏差量。4.如申请专利范围第2项之基板检查装置,其中还包括:原点定位装置,将上述标记检测装置定位于机械性原点上;其中上述被检查基板之偏差量,以上述机械性原点为坐标系之原点进行坐标计算。5.如申请专利范围第4项之基板检查装置,其中还包括:原点标记,被设置在旋转桌上,当以既定角度转动上述旋转桌时,能与定位于上述机械性原点之摄影装置的光轴,形成设计上之既定位置关系的位置;修正偏差量检测装置,通过摄影装置检测出当上述旋转桌沿上述既定角度被转动时之原点标记,计算出因机械性误差而引起的原点标记与摄影装置之相对位置的偏差量;及修正装置,对应于上述偏差量,对被检查基板之偏离基准位置的偏差量资料进行修正。6.如申请专利范围第1.2.3.4或5项之基板检查装置,其中还包括:治具定位标记,被设置在检查治具之面向旋转桌的既定位置上;设定装置,用于将检查治具设定在机械性原点上;辅助摄影装置,被设置在,当以既定角度转动上述旋转桌时,能与定位于机械性原点的检查治具之治具定位标记,形成既定位置关系之位置;及运算装置,当以既定角度转动上述旋转桌,辅助摄影装置被设定在与治具定位标记形成既定位置关系之位置时,驱动检查治具,辅助摄影装置,根据检查辅助装置从既定基准位置开始到治具定位标记之影像在视野中被捕捉为止之移动量,和辅助摄影装置视野中的治具定位标记影像之相对于辅助摄影装置的光轴的位置资讯,运算出检查治具与旋转桌之相对位置偏差量。7.如申请专利范围第6项之基板检查装置,其中提供电力于上述辅助摄影装置之供电装置及上述运算装置,与上述旋转桌被分别设置于不同之装置主体;当辅助摄影装置将检查治具之治具定位标记设置在相应位置时,上述运算装置及电力供给装置与该辅助摄影装置通过相互接触并电性地连接在一起之接点,被电性地连接在一起。8.如申请专利范围第7项之基板检查装置,其中上述接点,被设置在旋转桌上,包括:导体,与旋转桌同圆心地延伸,能覆盖上述辅助摄影装置为了确认检查治具与旋转桌之相对位置的设定所移动之角度;刷子,被设置在装置主体一侧,可在与导体相接触之接触位置和与导体分离之非接触位置之间移动;及移动装置,在辅助摄影装置进行摄影时,用于将上述刷子移至接触位置。9.如申请专利范围第1项之基板检查装置,其中上述被检查基板之平面形状近似于矩形;上述基板保持装置包括:第1抵接部,与被检查基板中相邻接之两边中的一边相抵接;第2抵接部,与上述两边中之另一边相抵接;第1推压部,对与上述被检查基板之两边中的一边相对面的边进行作用,将被检查基板推压至第1抵接部;第2推压部,对与上述被检查基板之两边中的另一边相对面的边进行作用,将被检查基板推压至第2抵接部;切换装置,用于对上述第1.第2推压部,在推压被检查基板之推压位置与解除被检查基板之推压状态的解除位置之间进行切换。10.如申请专利范围第9项之基板检查装置,其中上述切换装置包括:凸轮装置,作用于上述第1.第2推压部,使上述第1.第2推压部平时处于推压位置;及解除装置,当上述基板保持装置处于搬入位置及搬出位置时,作用于上述凸轮装置,使第1.第2推压部处于解除位置。11.一种基板检查方法,包括下列步骤:将以既定角度间隔设置有复数基板保持装置之旋转桌,按上述既定角度间隔依次转动,并使基板保持装置以按照各个既定角度所分别设置之搬入位置、位置偏差检测位置、检查位置及搬出位置之顺序依次移动;及并行地执行以下之各道制程:在上述搬入位置,将被检查基板安装并固定在基板保持装置上;在上述位置偏差检测位置,检测出被检测基板之偏离基准位置的偏差量;在上述检查位置,对应被检查基板之偏离基准位置的偏差量,调节检查治具与旋转桌之相对位置后,检查被检查基板之配线;在上述搬出位置,将已经过检查之被检查基板从基板保持装置中取出。12.如申请专利范围第11项之基板检查方法,其中所述检测被检查基板之偏离基准位置的偏差量之检测制程包括下列步骤:将具有光轴及既定视野之摄影装置定位于机械性原点;从机械性原点开始移动所述摄影装置直至被检查基板上所形成之定位标记的影像进入视野;根据上述摄影装置在视野内捕捉到定位标记时之移动量及摄影装置视野中之定位标记的影像与摄影装置的光轴之偏差量,对被检查基板之偏离基准位置的偏差量进行运算;及在检查制程中,根据运算之偏差量调整检查治具之相对于被检查基板的相对位置。13.如申请专利范围第12项之基板检查方法,其中上述定位标记,在各个被检查基板之既定位置上分别形成2个;上述摄影装置,在视野中依次捕捉上述定位标记,利用以上述机械性原点为原点之坐标系检测出定位标记之坐标位置,运算偏离基准位置之偏差量。14.如申请专利范围第12项或第13项之基板检查方法,其中按既定量旋转上述旋转桌,将该旋转桌既定处所形成之原点标记设定于基板偏差检测位置;上述摄影装置根据从机械性原点开始到在视野中捕捉到原点标记为止时所移动之移动量及视野中原点标记之影像与摄影装置之光轴间的偏差量,计算出旋转桌与摄影装置之相对偏差量;根据此偏差量对检查治具与被检查基板之相对位置调整进行修正。15.如申请专利范围第12项或第13项之基板检查方法,其中将旋转桌设置在既定位置;按既定量旋转该旋转桌,将具备光轴及既定视野之辅助摄影装置设置在上述检查位置;驱动检查治具,使位于检查治具之面对旋转桌的位置的一对治具定位标记的影像,依次在辅助摄影装置之视野内被捕捉;此时,根据检查治具从机械性原点开始之移动量及治具定位标记之偏离辅助摄影装置视野中的光轴的偏差量,运算检查治具与旋转桌之相对偏差量;根据此偏差量,对检查治具与被检查基板偏离基准位置之相对位置调整进行修正。16.如申请专利范围第15项之基板检查方法,其中利用基准检查治具,执行检查治具与旋转桌之相对偏差量的运算。图式简单说明:图1是表示有关本发明之基板检查装置结构实例的主要部分的平面图。图2是表示有关本发明之基板检查装置结构实例的主要部分的立体图。图3是有关本发明之基板检查装置的方框结构图。图4是说明定义于旋转桌之Cx'Cy'坐标的示意图。图5是表示对坐标轴不平行的驱动控制摄影机之CxCy坐标和定义在旋转桌之Cx'Cy'坐标进行原点调整时的坐标轴倾斜程度的示意图。图6是表示支持架的基板保持装置之主要部分的立体图。图7是表示CxCy坐标与XY坐标之关系的示意图。图8是表示在保持板所形成之定位标记的一个实例示意图。图9是表示将配置于旋转桌之摄影机和设置于装置主体侧之控制部等电性地连接在一起之连接结构示意图。图10是说明自动修正1之Cx'Cy'坐标之原点位置的调整步骤的示意图。图11是表示控制有关本发明之基板检查装置的各个控制信号的时机示意图。 |
