| 主权项 |
1.一种药液供给装置,是用来将混合原料液与稀释液所生成的药液、或混合复数的原料液所生成的药液供给到处理装置的药液供给装置,其特征为:具备有:用来储藏上述药液的复数的药液储藏手段、连接于上述复数个药液储藏手段的各药液储藏手段与上述处理装置之间的主配管、用来将上述药液从上述复数个药液储藏手段的各药液储藏手段经由上述主配管而供给到上述处理装置的药液供给手段、用来将从上述复数个药液储藏手段的各药液储藏手段抽出的上述药液送回到抽出了药液的药液储藏手段的第一循环用配管、及用来将从上述复数个药液储藏手段的各药液储藏手段所抽出,且经由上述主配管被上述药液供给手段已经输送到即将进入上述处理装置之前的上述药液送回到被抽出了该药液的药液储藏手段的第二循环用配管。2.如申请专利范围第1项之药液供给装置,其中还具备有:用来将上述原料液与上述稀释液分别供给到上述药液储藏手段的供给手段、或用来将上述各种复数的原料液分别供给到上述药液储藏手段的供给手段。3.如申请专利范围第1或2项之药液供给装置,其中上述的药液供给手段包含有设置在上述复数个药液储藏手段的各药液储藏手段的复数的泵浦。4.如申请专利范围第1或2项之药液供给装置,其中具备有用来计量储藏于上述复数个药液储藏手段的各药液储藏手段的上述药液的计量手段,当把上述药液供给到上述处理装置而储藏于上述药液储藏手段的上述药液的量在预定的量以下时,则将上述药液补充到其他的药液储藏手段、或分别将上述原料液与上述稀释液供给到其他的药液储藏手段、或把上述各种复数的原料液分别供给到其他的药液储藏手段。5.如申请专利范围第1或2项之药液供给装置,其中还设置有用来清洗上述药液储藏手段、上述第一循环用配管、上述第二循环用配管的清洗手段。6.如申请专利范围第5项之药液供给装置,其中每当将上述药液供给到药液供给装置而上述药液完全从上述药液储藏手段被抽出时,会经由上述第一循环用配管而藉由上述清洗手段来清洗上述药液储藏手段。7.如申请专利范围第1或2项之药液供给装置,其中上述处理装置是构成了半导体装置的制造装置的其中一部分。图式简单说明:第1图是本发明的药液供给装置的一实施例的全体构造的显示图。 |
